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演示内容2 高通量空间 ALD 和光学近红外滤光片

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我们在七月都柏林举行的 ALD2016 会议上度过了一段美好时光,在倍耐克公司 ALD 船吧进行的精彩对话也成为了经典。会议上有太多精彩的演讲,你根本无法跟上所有的轨道,当然也无法停下来详细讨论所有的海报演讲。

为了防止有些人错过在会上观看倍耐克公司的三场演示,我们在此与大家分享。

我们最近已经分享了 Sami 关于 ALD 技术如何支持 Beneq 坚固且透明的 Lumineq 显示器的演示。通过本文中的链接,您可以下载 Beneq 在 ALD2016 上的另外两份演示文稿:Mikko 关于用于高通量涂层应用的大面积空间 ALD 的海报,以及 Kari 关于基于 ALD 的 3D 近红外滤光片的演示文稿。

大面积片对片空间 ALD 系统

倍耐克公司是大型基片镀膜的ALD解决方案的先驱,我们也在博客中讨论过这些解决方案。倍耐克公司的Mikko Söderlund向ALD2016的观众展示了我们在这一领域的创新。

我们的大面积空间 ALD 镀膜设备是专为高通量镀膜应用而开发的,例如 CIGS 太阳能电池的锌缓冲、有机发光二极管封装、玻璃镀膜和晶体太阳能电池的后表面钝化。新的空间 ALD 工艺可以更快、更灵活地对更大的基底进行镀膜。新型大面积 ALD 镀膜设备的生产能力为工业级镀膜技术带来了新的可能性。您可以从 Mikko 的海报中查看我们的大面积 ALD 测试的最新结果。


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